南开大学光电子所从上世纪70年代初，专注研究薄膜太阳电池材料、器件及其应用，对于促进国内薄膜太阳电池以及光伏产业的发展进步做出了突出贡献。

为了克服非晶硅太阳电池存在的效率低和光致衰退大的问题，光电子所于2000年始，作为首席单位承担了科技部“十一五”和“十二五”973项目，在国内率先开展新一代非晶硅/微晶硅叠层硅薄膜太阳电池的研究，并达到国际先进水平。在科技部重点863项目的支持下，研制成功我国首套基于自主专利技术的、衬底面积0.79m2、线列式5室连续VHF-PECVD系统及相应中试生产线及其组件制造技术。成为国际上为数不多可开展大面积新一代硅基薄膜太阳电池研究的单位。

2009年，研制成功我国首套基于自主专利技术的、衬底面积0.79m2、线列式5室连续VHF-PECVD系统及相应中试生产线及其组件制造技术。成为国际上为数不多可开展大面积新一代硅基薄膜太阳电池研究的单位。 2011年，开发出年产能2兆瓦、具有自主知识产权的、我国首条年产能2兆瓦的非晶硅/非晶硅锗/微晶硅叠层电池生产线及其组件生产技术，将新一代硅薄膜电池技术推向产业化。